金融界2025年1月16日消息，国家知识产权局信息显示，周星工程股份有限公司申请一项名为“基板检查设备和基板检查方法”的专-利，公开号 CN 119297103 A，申请日期为2018年12月基板 。
专-利摘要显示，提供了一种用于监控基板以确定处理过的基板的状态并检查处理过的基板中是否存在异常的设备和方法基板 。用于检查基板的设备包括相对于基板移动并用于安装基板的基板安装部、用于监控基板的测量部、被配置为控制测量部的移动路径使得相对于多个基板至少一些区域从彼此不同的位置被监控的控制部，以及分析部，其被配置为从关于所述多个基板的监控信息来确定异常的存在。
来源：金融界