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细美事申请基板处理方法以及基板处理装置专-利，用于将形成在基板上的薄膜以原子层单位进行蚀刻
金融界2024年12月12日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“基板处理方法以及基板处理装置”的专-利，公开号CN119108298A，申请日期为2024年3月基板。专
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三星显示取得基板处理装置专-利，解决基板处理装置相关问题
金融界2025年1月29日消息，国家知识产权局信息显示，三星显示有限公司取得一项名为“基板处理装置”的专-利，授权公告号CN222396036U，申请日期为2024年4月基板。专-利
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深圳市华星光电取得基板转移台及基板处理装置专-利
金融界2025年1月11日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市华星光电半导体显示技术有限公司取得一项名为“基板转移台及基板处理装置”的专-利，授权公告号CN114743920B，申请日期为202
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细美事申请基板处理方法以及基板处理装置专-利，用于蚀刻基板薄膜
金融界2024年12月12日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“基板处理方法以及基板处理装置”的专-利，公开号CN119108299A，申请日期为2024年3月基板
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细美事申请基板处理装置以及基板处理方法专-利，使基板处理更高效
金融界2024年12月25日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“基板处理装置以及基板处理方法”的专-利，公开号CN119173105A，申请日期为2024年
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