金融界2025年1月29日消息，国家知识产权局信息显示，三星显示有限公司取得一项名为“基板处理装置”的专-利，授权公告号 CN 222396036 U，申请日期为 2024 年 4 月基板 。
专-利摘要显示，提供一种基板处理装置基板 。基板处理装置包括：第一腔室；第二腔室，在第一方向上配置在所述第一腔室的一侧；第一门，在与所述第一方向不同的第二方向上配置在所述第一腔室的一侧；以及第二门，在所述第二方向上配置在所述第二腔室的一侧，所述第一门比所述第二门在所述第二方向上移位配置。
来源：金融界
金融界2025年1月29日消息，国家知识产权局信息显示，三星显示有限公司取得一项名为“基板处理装置”的专-利，授权公告号 CN 222396036 U，申请日期为 2024 年 4 月基板 。
专-利摘要显示，提供一种基板处理装置基板 。基板处理装置包括：第一腔室；第二腔室，在第一方向上配置在所述第一腔室的一侧；第一门，在与所述第一方向不同的第二方向上配置在所述第一腔室的一侧；以及第二门，在所述第二方向上配置在所述第二腔室的一侧，所述第一门比所述第二门在所述第二方向上移位配置。
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