金融界2024年12月12日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“基板处理方法以及基板处理装置”的专-利，公开号 CN 119108299 A，申请日期为 2024 年 3 月基板 。
专-利摘要显示，本发明关于一种基板处理方法以及基板处理装置，用于将形成在通过本发明的一实施例的基板上的薄膜以原子层单位进行蚀刻，其特征在于，所述基板处理方法包括：表面改性步骤，向配置有所述基板的腔室的处理空间供应包含氯氧(O)的第一气体而改性所述薄膜的表面；第一吹扫步骤，向所述处理空间供应吹扫气体而去除残留在所述处理空间的所述第一气体；蚀刻步骤，向所述处理空间供应 CHF3 气体而蚀刻所述改性的薄膜；以及第二吹扫步骤，向所述处理空间供应吹扫气体而去除残留在所述处理空间的所述 CHF3 气体基板 。
来源：金融界