金融界 2024 年 12 月 25 日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“基板处理装置以及基板处理方法”的专-利，公开号 CN 119173105 A，申请日期为 2024 年 5 月基板 。
专-利摘要显示，本申请提供一种基板处理装置和基板处理方法基板 。基板处理装置可以包括悬浮单元部、移送单元和液态化学品排出单元。悬浮单元部使多个基板在沿着与基板的移送方向(第一方向)正交的第二方向上对准放置的同时在与第一方向和第二方向正交的第三方向上悬浮，并且沿着移送方向延伸。移送单元沿着在第一方向上延伸的悬浮单元部同时移送在第二方向上对准放置的多个基板。液态化学品排出单元向由移送单元同时移送的多个基板同时排出液态化学品。
来源：金融界